昀通科技UVLED解膠機(jī)可用于晶圓解膠、芯片解膠等UV解膠應(yīng)用,設(shè)備大面積均勻曝光,良率高,解膠層厚度一致性>98%,減少局部殘留或過曝風(fēng)險,可低溫高效解膠,熱損傷極小,昀通科技UVLED解膠機(jī)發(fā)射特定波長紫外光,激發(fā)鍵合膠中的光敏劑發(fā)生光化學(xué)反應(yīng),實現(xiàn)低溫解膠(<80℃),避免高溫導(dǎo)致的晶圓翹曲、金屬層氧化或低k介質(zhì)損傷,適用于熱敏感材料(如有機(jī)基板、柔性電路、聚合物透鏡)。
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